“老神仙？张董，京城亦庄的龙芯实验室我上周刚去过，梁博士他们手里只有那台改造过的阿斯麦光刻机，可咱们眼下缺的是超高深宽比刻蚀机和薄膜沉积设备啊！”
赵伟国抓着禁运清单道。
张扬大步走向无尘车间的更衣室，扯下防静电头套。
“谁只去亦庄？先飞魔都金桥，再去京城亦庄，应用材料和泛林半导体真把自己当盘菜了？离开他们，咱们照样能把3d闪存堆起来！”
赵伟国愣在原地，回过神便快步跟上。
“魔都金桥？张董，您的难道是中微半导体的尹志尧博士？可他们做的都是中低端产线的边缘机台，扛得住三维闪存的高深宽比刻蚀吗？”
“边缘机台？你们这帮大厂采购总监，怕是连人家车间的门都没进过！”
张扬推开大门。
“陈哲，通知机组改航线，先降魔都浦东机场，再联系京城北方微电子的赵晋华总工，让他连夜买高铁票，去魔都跟我们会合！”
当下午四点半，魔都浦东金桥出口加工区。
一栋年头不短的灰白色厂房外，冷风卷着落叶。
张扬和赵伟国推开中微半导体的车间大门，闻到一股金属加工液刺鼻的味道。
宽敞的组装大厅内，十几台一人多高的银灰色机台并排摆放，上面都蒙着厚厚的防尘塑料布。
几个穿蓝色工装的年轻工程师蹲在角落调试电路板，偌大的车间里几乎听不见机器运转。
一台尚未封箱的双反应台刻蚀机前，一名满头白发、穿旧夹克衫的七旬老人举着放大镜，弯着腰在核对腔体气路。
“尹老，忙着呢？”
张扬放慢脚步，先打了声招呼。
老人撑着机台直起酸痛的腰背，转身推了推鼻梁上的老花镜。
来人竟然是张扬和紫光的赵伟国，这位当年放弃硅谷应用材料公司副总裁职位、领着几十名华人专家归国的泰斗尹志尧，很是意外。
“张董？还有紫光的赵总？你们两位大忙人，怎么找到我这座冷清庙堂来了？”
尹志尧放下放大镜，在工装裤上擦了擦手，又指向旁边的折叠椅。
“车间没开暖气，条件简陋，两位别嫌弃。”
赵伟国看了看周围蒙尘的成品机台，皱起了眉。
“尹博士，我听中微去年就在做电容性等离子体刻蚀机，车间怎么压了这么多现货，都没发给下游晶圆厂？”
提到这件事，尹志尧的脸上没了笑容。
旁边的年轻工程师忍不住接话道。
“赵总，您还好意思问！我们尹老领着大家熬了整整十年，研发出的primo Ad-RIE介质刻蚀机，连台积电的七纳米先导产线都通过验证了！结果拿到国内晶圆厂推广，你们的采购总监连参数报告都不看，张口便国产机台不稳定，出了废片谁担责？”
“前阵子，我们好不容易谈下一家江浙的晶圆厂，泛林半导体听到消息，转头就把同规格机台降价四成倾销，还白送两年耗材！对方当场撕了意向书，我们这十几台机器，全成了压在仓库里的废铁！”
工程师越越气，紧紧攥着拳头。
“再拿不到订单回血，下个月连买特种阀门的钱都凑不出来了！”
“刘，少两句，技不如人，怪不得别人。”
尹志尧叹了口气，拍了拍年轻饶肩膀，低头看向那几台蒙着塑料布的机器。
赵伟国听到这里，瞬间眼前一亮。
“什么叫台积电七纳米验证通过？”
赵伟国两步冲到那台尚未封箱的机台前，抓起挂在侧面的出厂测试蓝皮书。
翻开封面后的检测页，台积电新竹总厂签发的良率比对数据和深宽比刻蚀剖面图，一一在目。
赵伟国盯着那几行数字，瞪大了眼珠子。
“深宽比达到六十比一！侧壁垂直度偏差于零点三纳米！这……这参数跟泛林半导体的最新主力机型一模一样！”
赵伟国转头看向尹志尧。
“尹老，你们手里有这种王牌技术，怎么不在行业峰会上公开宣传？”
“宣传？应用材料和泛林半导体的专利律师团堵在门口，国内大厂又把洋设备当祖宗供着，我们上哪儿宣传？”
尹志尧摇了摇头一脸苦涩。
车间大门这时被人推开。
风尘仆仆的北方微电子负责人赵晋华拎着公文包跑进来，擦了一把额头上的汗。
“张董，尹老！我刚从虹桥高铁站赶过来，没迟到吧？”
赵晋华深吸一口气，从包里取出一摞厚厚的测试报告，交到张扬手上。
“张董，按您的吩咐，我把咱们北方微电子和七星华创刚合研的十二英寸原子层薄膜沉积设备、高精密单片清洗机的极限参数全带来了！机台在亦庄中试线跑了半年，各项指标全部达标，就是找不到大厂的量产线给我们试错定型！”
张扬接过报告，转手塞进赵伟国怀里。
赵伟国连忙低头翻看，翻到最后几页时，一脸的不可置信。
“薄膜均匀度百分之九十九点二！颗粒污染也控制住了！老爷，咱们国内居然藏着全套的刻蚀和沉积家底，我今上午还在洋山港给米国人磕头，求他们放行，我特么真是个睁眼瞎！”
完，啪的一声响起，赵伟国狠狠抽了自己一巴掌。
张扬走到那台银灰色刻蚀机旁，揭下防尘塑料布，在金属机壳上拍了两下。
“尹老，赵总工，以前国内晶圆厂的脊梁骨软，跪久了站不起来，不敢用你们的心血，今这笔账，我张扬帮你们翻过来！”
张扬转过身，从陈哲手里接过两份早已拟好的空白采购合同。
“江城长江存储一号厂房已经封顶，米国商务部上午刚断了我们的进口设备，现在我以长江存储的名义宣布，首期一百亿人民币的核心设备采购款，一分钱不给洋人，全数交给中微半导体和北方微电子！”
车间里寂静无声。
几个年轻工程师手里的扳手掉在地上，哐当乱响。
尹志尧赶忙扶住工作台，瞪大了眼睛。
“张董，你……你多少？一百亿？”
“中微五十亿，采购你们的等离子体刻蚀机！北方微电子五十亿，包揽长江存储所需的薄膜沉积、氧化退火与清洗设备！”
张扬大手一挥，继续道。
“另外，扬半导体产业基金再向两家公司各注资二十五亿人民币，不占控股权，不设对赌协议，专门供你们扩充十倍产能、招揽全球顶尖工程师！”
赵晋华只觉得双腿发软，没想到馅饼能砸到他脸上，眼泪当场涌了出来。
“有产线了……咱们的机器终于能进自己的大厂量产线了！”
尹志尧摘下老花镜，擦了擦眼眶，上前握住张扬的手，久久不肯松开。
“张董，中微的刻蚀机已经做好进驻江城的准备！但3d NANd需要高深宽比的堆叠工艺，要是能拿到东芝四日市工厂的现成产线参数，我们能少走三年弯路！”
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