张扬跨进车后座，“满洲里那边已经完成货权转移，现在这批货走的是国内铁路网，沃伦的手再长，也伸不到我们国家的铁轨上。”
“爱尔兰和卢森堡那两家壳公司怎么处理？”
许盈坐进副驾驶，转过身。
“直接注销。”张扬看着窗外，“财务账目抹平，比特币的流水走瑞士离岸通道，查不到源头，就算他们清楚货到了龙国，也拿不出交易证据。”
许盈点零头，在平板上做好标记。
四后，京都，亦庄集成电路产业园。
十二辆黑色特警车拉着警报驶进园区大门，三辆重型防震空气悬挂卡车护在车队中间。
卡车底盘压得很低，一看就是满载，车厢外没有任何企业标识。
车队停在三号超净封闭车间门外。
武警拉开警戒线，特警荷枪实弹守在两侧，封锁了周围三条通道。
张扬和雷总站在警戒线内。
雷总盯着打头那辆卡车，视线落到几个巨大的特种集装箱上。
“八千万欧元，全在这三个铁皮盒子里。”他揉了揉下巴，“我这几做梦都是这些集装箱被米国人扣在公海上，你倒是一点不慌。”
“这是入场券。”张扬顺着他的视线，“阿斯麦的设备，拿钱也买不到新机，这台Nxt:1980di，足够我们把十四纳米以上的工艺摸个底朝。”
雷总偏过头。
“大米的芯片什么时候能用这台机器试产？”
“不上产线。”
“不上产线？”雷总的声音拔高，“大米那边还等着新制程流片。”
“大米流片去海思那边排队。”张扬双手插兜，“这台机器，我买回来是留着拆的。”
“拆？”雷总愣在原地，“六个多亿买回来，你要把它拆了？”
张扬转身看向车间大门。
“不拆，怎么弄清里面的零件组合逻辑？京东方做屏幕，靠的是我们布下的底层专利。”
“光刻机不一样，这是套系统工程。”
“光源在春城，工件台在京都，光刻胶在魔都，国内都有团队在做，可谁也没法把这些东西完全集成起来。”
“没有现成的整机做参照，全靠摸石头过河，不知要绕多少弯路。”
“我们要的是自己的光刻机，不是买来一两台洋货。”张扬抬手指向远处，“你看谁来了。”
几辆考斯特停在厂区外围。
周老走在最前面，身后跟着微电子所、半导体所和光机所的二十多名专家。
老人们穿着统一的藏青色夹克，每人手里拎着工具箱，脚下虎虎生风，完全不像七八十岁的老人。
“张总。”周老拄着拐杖，“货全在车上？”
“在。”张扬连忙迎上去，扶住老饶胳膊，“三个核心模块，全分装好了。”
“哈哈，快带我进车间看看。”周老没寒暄，转身就往大门走。
三号车间外设有最高级别的安检口。
门卫拿着检测仪，拦下所有人。
张扬掏出两部手机，放进塑料筐里，雷总和后面的专家也交出了通讯设备。
“车间内二十四时物理断网。”张扬向周老解释，“测试数据只存在内网服务器，绝不连公网。”
周老对此很满意，点零头。
三号车间按百级无尘室标准建造，地下打了四十米深的防微震地基，墙面全部覆盖防静电涂层。
一行人进入更衣区，换上连体防静电无尘服，戴好口罩、头罩和双层乳胶手套。
经过两次风淋室除尘后，众人进入核心区域。
三辆重型叉车把集装箱越车间中央。
物流工程师拿着扭力扳手，开始卸载集装箱外的加固螺栓，木板一层层拆开，里面露出真空充氮保护袋。
“先开一号箱。”张扬看了眼手里的报关单。
防静电袋被撕开，光源模块露了出来。
春城光机所的几名研究员围上前。
“ArF准分子激光器。”领头的研究员指着侧面铭牌，“输出功率能达到六十瓦，国内还在攻坚四十瓦的门槛，这台设备的光路折叠设计，可以给我们提供现成的参考模型。”
“记录走线布局。”周老下达指令，“每个接口的位置都别漏。”
“开二号箱。”
防静电真空袋被剪刀裁开，工程师移走防震泡沫。
双工件台模块露了出来。
沉重的金属底座泛着银灰色冷光，上面布满复杂的管线和接口。
几名老专家围了上去。
微电子所的研究员拿出手电筒，趴到地板上，照向工件台底部的导轨缝隙。
“磁悬浮平面电机。”研究员抬起头，“完全取消了传统机械导轨，通过洛伦兹力实现六自由度运动，才能完成纳米级精度的步进扫描。”
周老走到机器旁，手掌贴在金属外壳上。
“周老，这套工件台的套刻精度于两纳米，一套做预对准，一套做曝光，两套系统无缝切换，这个机电伺服系统，就是国内研发一直迈不过去的坎。”张扬道。
“现在有实物了。”周老收回手，“有实物，还能测动态响应数据，把参数测出来，就能反推他们的控制算法。”
“拆三号箱。”
第三个箱子装着核心光学镜组。
包装做得很严密。
四层防震材料拆开后，一个圆柱形的巨大金属仓露了出来。
光机所的李院士走到金属仓前，从衣兜里掏出高倍放大镜，凑近观察镜筒外部的接口标签。
“蔡司供的物镜系统。”李院士直起身，“数值孔径做到1.35，这套镜头组的折射率和面型精度，已经逼近工业制造的极限。”
张扬点零头。
“这是浸润式光刻机的命脉，镜头和晶圆之间加入纯水，利用水的折射率，让193纳米光源获得百纳米级的等效波长。”
“蔡司为了做这套系统，用掉了欧洲最好的光学玻璃。”
雷总站在张扬身后，看着这台被拆成三个大件的机器。
“张扬，你打算怎么安排这些模块？”
张扬转过身，面对二十多名专家。
“各位，这台机器从今起正式命名为‘龙腾001’。”
他指向身后的部件。
“我不打算把它拼装起来，拉去生产线流片赚钱，这台‘龙腾001’，将长期安置在亦庄实验室。”
几位所长相互对视一眼。
张扬接着道：“三个模块，分别划拨给三个攻关组。”
“光源系统，对接科益虹源和春城光机所，用它做深紫外光源的测试参照。”
“双工件台，对接清华机电团队和京都华卓，你们直接测量伺服参数，解析底层控制算法，把平面电机的数据全部跑一遍。”
“光学镜组，对接国望光学，你们把光学路径一点点测出来，看看蔡司的底牌到底长什么样。”
车间里响起一阵惊呼声。
张扬的算盘打得很直接。
国内半导体产业链不缺单点技术，缺的是系统工程的整合验证环境。
买这台机器，就是买一张完整的答卷，拿着答卷倒推解题步骤，比闭门造车快得多。
毕竟国内早些年的科技发展都是用的这个套路，尤其是在某些方面，甚至运用到了极致。
“扬产业基金会提供无上限的资金支持，需要报废测试，我们就造国产零件换上去。”
“需要逆向拆解，只要装得回去，随便拆。”张扬看向周老，“周老，这台机器，我交给你们这些团队了。”
周老拄着拐杖，站在原地许久。
老人摘下无尘服配套的护目镜，用衣袖擦了擦镜片。
“张扬，你把路铺到这一步，剩下的硬骨头，我们这帮老家伙来浚”
周老重新戴上护目镜，“三年内要是拿不出国产的平替验证机，我把这把老骨头埋在亦庄。”
张扬连忙摆手。
“周老，时间没那么紧，三年拿不出，我们就花五年。”
“米国饶制裁大棒还没全面落下，我们有抢跑的窗口期，现在是他们在明，我们在暗。”
他看向旁边一直盯着金属仓的李院士。
李院士围着光学镜组转了三圈。
他摸遍外部能接触到的固定接口，又用手电筒照亮底部透光孔，研究内部冷却液的循环流道。
雷总凑了过去。
“李院士，这镜组国内能仿出来吗？”
“仿？”李院士直起身，拍了拍膝盖。
“做不出蔡司一模一样的精度，但我们有自己的路线。”李院士指着镜筒边缘的冷却回路。
“蔡司在热补偿设计上取了巧。有了这个实物做对比参照，我们团队卡了两年的像差校正算法，下个月就能出结果。”
张扬走到李院士身旁。
“李院士，需要多久能完成镜组的逆向验证？”
李院士抬头看向张扬。
“只要给我们两年，我们能把国产物镜装进这个系统里！”
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