国芯崛起:从香江到硅谷

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第363章 星尘闪耀(二)- 特种电子气体与高纯靶材的隐形冠军!

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2013年,盛夏的余温,被秋日的第一缕凉风悄然吹散。

然而,在启明芯集团内部,以及整个华夏半导体产业界,

那股因为“神农光刻胶Sp-28”成功实现工业化量产和产线验证,

而引发的激动与自豪的热浪,却依旧在持续高涨,久久不息!

林轩,这位一手缔造了这场“材料革命”的总设计师,却并没有沉醉在阶段性的胜利喜悦之郑

他的目光,早已从光刻胶这颗“皇冠上的明珠”,

投向了构成半导体产业链这座巍峨金字塔的、更多更基础、也同样被国外巨头“卡住脖子”的——核心战略环节!

“光刻胶的突破,仅仅是为我们撕开了一道微的缺口。”

在一次“星尘补计划”核心战略推进会上,林轩对着赵晴鸢、顾维钧、理查德·刘,

以及几位新近从国家级科研院所和大型化工集团抽调来的、专门负责不同材料攻关方向的顶尖专家,语气平静却带着不容置疑的战略决心,

“要想真正实现华夏半导体上游产业链的全面自主可控,我们还有太多的‘硬仗’要打,太多的‘高地’需要去攻占!”

他身后那块巨大的全息星图上,代表着半导体核心材料的星云图谱,

再次被点亮。这一次,除了光刻胶之外,

另外两个闪耀着刺目红光的“卡脖子”节点,被重点标记了出来:

超高纯度特种电子气体! 以及 高纯度金属溅射靶材!

这两种看似不起眼的工业耗材,却是现代集成电路制造中,与光刻胶同等重要、甚至在某些特定工艺环节更为关键的——“血液”与“食粮”!

超高纯度特种电子气体,如用于精确刻蚀芯片线路的c4F8、chF3、NF3等含氟气体,

以及用于原子层沉积(ALd)或化学气相沉积(cVd)形成各种功能薄膜的F6(六氟化钨)、Sih4(硅烷)、高纯Nh3(氨气)等。

它们对纯度的要求,往往达到惊饶6N(99.9999%)甚至7N(99.%)以上!

任何ppb(十亿分之一)甚至ppt(万亿分之一)级别的微量金属或有机杂质污染,

都可能导致整片晶圆的电学性能发生灾难性的偏移,甚至直接报废!

长期以来,这一领域的核心技术和全球市场,被米国的空气化工、普莱克斯,

法兰西的液化空气,以及东瀛的太阳日酸、昭和电工等少数几家跨国化工巨头所绝对垄断。

他们不仅掌控着最先进的提纯与混配技术,更对华夏实行着严格的“技术保密”和“价格歧视”。

高纯度金属溅射靶材,则是用于在芯片上通过物理气相沉积(pVd)工艺,

制造导电金属连线(如铜、铝、钨)或阻挡层(如钛、钽)的核心原材料。

其对金属本身的纯度、晶粒结构均匀性、以及靶材表面的平整度和致密性,都有着极其严苛的要求。

这一领域,也同样被东瀛的日矿金属、三井矿业,以及m国和德意志的少数几家特种材料巨头所把持。

“气体,是芯片制造的‘呼吸’;靶材,是芯片连接的‘血脉’。”

林轩的目光扫过在场的每一位材料专家,语气凝重,“如果我们不能在这两个领域也实现自主可控,那我们的‘神农’晶圆厂,即使拥有了最先进的光刻机和我们自己的光刻胶,

也依然是一座随时可能因为‘断气’或‘断粮’而停摆的——空中楼阁!”

“所以,”他斩钉截铁地宣布,“‘星尘补计划’的第二大战役,将同时在超高纯度特种电子气体和高纯度金属溅射靶材这两个方向,全面打响!”

这一次,启明芯的策略,与光刻胶的“国家级联合体集中攻关”略有不同。

林轩决定采取一种更加灵活、也更具针对性的“隐形冠军”培育模式。

“理查德,”他看向SIA部门负责人理查德·刘,“我需要你们的团队,在最短的时间内,

在华夏大陆和全球范围内,筛选出一批在特种气体纯化与混配、或高纯金属冶炼与精密加工领域,

拥有一定的技术积累、独特的工艺诀窍、但可能因为缺乏资金、市场或先进设备,

而暂时未能成长为行业巨头的‘潜力股’或‘隐形冠军’!”

“我们的目标,不是要去从零开始再造一个‘空气化工’或‘日矿金属’,

那不现实,也没必要。”林轩的眼中闪烁着战略家的智慧光芒,

“我们要做的,是找到那些已经拥有了‘从0到0.5’甚至‘从0.5到0.8’技术基础的

‘好苗子’,然后,启明芯将用我们强大的资本、市场、技术以及国家层面的政策支持,去为他们‘强力赋能’、‘精准催熟’、‘拔苗助长’!”

“我们要让他们在最短的时间内,突破‘从0.8到1.0’甚至‘从1.0到1.2’的最后瓶颈!

让他们成为在特定细分领域,能够与国际巨头正面抗衡、

甚至实现局部超越的——‘单项世界冠军’!”

“最终,我们将通过战略投资、控股并购、技术联盟、以及订单捆绑等多种方式,

将这些被我们‘点石成金’的‘隐形冠军’们,牢牢地整合到启明芯主导的‘华夏芯生态系统’之中,成为我们‘星尘补’计划最坚实、也最可靠的——上游支柱!”

林轩的这番“隐形冠军”培育战略,再次展现了他那“不走寻常路”的独特商业思维。

在接下来的数个月里,SIA部门的“全球寻宝特遣队”再次出动!

理查德·刘的团队,在经过了对国内数十家气体生产企业和科研院所的细致摸排之后,

最终将目光锁定在了位于华夏西部某省的一家名为“华腾特种气体有限公司”的民营企业。

这家公司原本主要生产工业级和普通电子级的特种气体,在几种含氟蚀刻气体的基础合成上,拥有一定的技术积累,

但其产品的纯度、杂质控制水平、以及钢瓶内壁的特种处理工艺等,都远远无法满足12英寸先进集成电路制造的要求。

启明芯果断出手,对其进行了数亿人民币的战略增资控股!

并派遣了一支由顾维钧亲自挑选的、来自启明芯材料科学实验室和“伏羲”AI工艺优化团队的顶尖专家,长期进驻“华腾气体”。

他们带来了启明芯最先进的超高精度气体分析与检测设备,

带来了基于“伏羲”AI平台的、针对特定气体分子结构和杂质特性的多级吸附、低温精馏、以及等离子体催化裂解等全新提纯工艺模型。

更带来了启明芯“神农”晶圆厂未来数年内对十几种核心特种电子气体的、总价值可能高达数十亿人民币的——巨额战略采购订单承诺!

在启明芯强大的资本、技术和市场“三位一体”的强力推动下,“华腾气体”这家原本偏居一隅、名不见经传的西部厂,如同被注入了“超级生长激素”一般,开始了脱胎换骨般的涅盘重生!

仅仅半年之后,其生产的第一批纯度达到6N(99.9999%)级别的超高纯度c4F8、chF3等核心蚀刻气体样品,便成功通过了启明芯“神农1号”产线最严苛的上线验证!

其性能指标,完全不输于之前高价从东瀛进口的同类产品!

一个华夏本土的特种电子气体“隐形冠军”,在启明芯的精心培育下,已然悄然诞生!

类似的“奇迹”,也同时发生在另一个被国外巨头长期垄断的核心材料领域。

SIA团队,在对国内有色金属和稀有金属冶炼与加工产业进行全面梳理后,

与位于华夏西北某省的一家拥有深厚军工背景、在超高纯度金属材料的真空冶炼和

精密塑性加工方面拥有独特技术积累的国有大型企业——“昆仑先进材料集团”达成了战略合作。

启明芯同样向其提供了巨额的研发资金和设备采购支持,并派遣了来自欧洲Imagitech和

启明芯中央研究院的材料物理与表面工程专家团队,与“昆仑精材”的工程师们一起,

联合攻关用于半导体芯片制造的超高纯度(5N5至6N级别)铜、钛、钽、钨等金属溅射靶材的真空感应熔炼、电子束熔炼、区域熔炼提纯、以及大尺寸靶材的均匀晶粒控制、精密机械加工和特殊绑定等核心工艺技术。

“伏羲”AI平台,也再次大显神通!

它通过对不同金属材料的微观晶格结构、电子能带特性、以及在pVd溅射过程中的成膜机理进行深度学习和模拟仿真,

为“昆仑精材”优化靶材的合金配比、晶粒取向、以及表面处理工艺,提供了极其宝贵的理论指导和参数建议。

最终,在双方团队的共同努力和AI的强力赋能下,

“昆仑精材”成功地生产出邻一批完全符合12英寸先进逻辑芯片和存储芯片制造要求的、

拥有自主知识产权的超高纯度铜、钛、钽系列溅射靶材!

其在纯度、致密度、晶粒均匀性、以及溅射成膜的颗粒控制和台阶覆盖能力等

所有核心性能指标上,均达到了国际领先水平!

一个华夏本土的半导体靶材国家队,在启明芯的战略引领下,横空出世!

光刻胶!特种电子气体!高纯金属靶材!

在启明芯“星尘补计划”的雷霆万钧之势下,一个又一个曾经被认为是“不可逾越”的半导体上游核心材料卡脖子环节,

正在被华夏的科学家和工程师们,以一种令世界震惊的速度,逐一攻克!

那些曾经高高在上、不可一世的国际垄断巨头们,

第一次真切地感受到了来自东方巨龙的、那种足以令他们窒息的强大压力!

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